VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si wafer, no doping, previously ion etched, 90 TOA
1
 
NORM
REGULAR
3
0
0
0
0
0
3
 
Si wafer, no doping, previously ion etched, 90 TOA
2003
5
10
15
39
33
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.96
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
107.5
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
602
250
29166
0.107213
0.108555
1488
0.108555
1557
0.10855
1645
0.108546
1561
0.108541
1601
0.108537
1542
0.108532
1583
0.108528
1506
0.108523
1451
0.108519
1535
0.108514
1529
0.10851
1487
0.108505
1567
0.108501
1557
0.108496
1504
0.108492
1570
0.108487
1539
0.108483
1441
0.108478
1563
0.108473
1522
0.108469
1484
0.108464
1504
0.10846
1457
0.108455
1567
0.108451
1481
0.108446
1504
0.108442
1484
0.108437
1485
0.108433
1404
0.108428
1486
0.108424
1469
0.108419
1503
0.108415
1516
0.10841
1464
0.108406
1482
0.108401
1500
0.108397
1444
0.108392
1494
0.108388
1549
0.108383
1506
0.108379
1436
0.108374
1550
0.10837
1490
0.108365
1461
0.108361
1588
0.108356
1495
0.108352
1575
0.108347
1607
0.108343
1676
0.108338
1666
0.108334
1653
0.108329
1737
0.108325
1742
0.10832
1777
0.108315
1885
0.108311
1887
0.108306
2050
0.108302
2096
0.108297
2169
0.108293
2152
0.108288
2216
0.108284
2328
0.108279
2540
0.108275
2530
0.10827
2655
0.108266
2782
0.108261
3001
0.108257
3094
0.108252
3097
0.108248
3218
0.108243
3285
0.108239
3432
0.108234
3657
0.10823
3697
0.108225
3717
0.108221
3910
0.108216
3973
0.108212
3941
0.108207
4214
0.108203
4208
0.108198
4516
0.108194
4423
0.108189
4517
0.108185
4562
0.10818
4576
0.108176
4591
0.108171
4599
0.108167
4679
0.108162
4631
0.108158
4541
0.108153
4482
0.108149
4639
0.108144
4565
0.10814
4564
0.108135
4345
0.108131
4582
0.108126
4427
0.108122
4274
0.108118
4214
0.108113
4167
0.108109
4037
0.108104
3958
0.1081
3816
0.108095
3828
0.108091
3654
0.108086
3656
0.108082
3507
0.108077
3476
0.108073
3363
0.108068
3291
0.108064
3274
0.108059
3088
0.108055
2933
0.10805
3032
0.108046
2830
0.108041
2789
0.108037
2788
0.108032
2783
0.108028
2667
0.108023
2654
0.108019
2673
0.108014
2489
0.10801
2627
0.108005
2636
0.108001
2587
0.107996
2665
0.107992
2533
0.107987
2586
0.107983
2699
0.107978
2802
0.107974
2812
0.107969
3020
0.107965
3046
0.107961
3275
0.107956
3532
0.107952
3744
0.107947
4158
0.107943
4606
0.107938
5231
0.107934
5803
0.107929
6776
0.107925
7559
0.10792
8839
0.107916
10100
0.107911
11593
0.107907
12994
0.107902
14485
0.107898
15802
0.107893
17059
0.107889
18190
0.107884
19711
0.10788
20527
0.107875
21416
0.107871
22307
0.107867
23320
0.107862
24250
0.107858
25043
0.107853
26392
0.107849
27699
0.107844
28273
0.10784
28793
0.107835
29166
0.107831
28754
0.107826
28226
0.107822
26713
0.107817
24799
0.107813
22687
0.107808
20242
0.107804
17665
0.107799
15192
0.107795
12649
0.107791
10333
0.107786
8563
0.107782
6891
0.107777
5454
0.107773
4323
0.107768
3386
0.107764
2820
0.107759
2176
0.107755
1756
0.10775
1488
0.107746
1301
0.107741
1092
0.107737
940
0.107732
856
0.107728
829
0.107724
788
0.107719
700
0.107715
674
0.10771
640
0.107706
617
0.107701
575
0.107697
589
0.107692
535
0.107688
505
0.107683
461
0.107679
433
0.107675
446
0.10767
447
0.107666
486
0.107661
427
0.107657
409
0.107652
426
0.107648
397
0.107643
329
0.107639
377
0.107634
352
0.10763
301
0.107625
325
0.107621
321
0.107617
320
0.107612
311
0.107608
326
0.107603
293
0.107599
305
0.107594
302
0.10759
294
0.107585
325
0.107581
309
0.107577
319
0.107572
287
0.107568
309
0.107563
284
0.107559
309
0.107554
292
0.10755
295
0.107545
287
0.107541
287
0.107536
300
0.107532
290
0.107528
285
0.107523
289
0.107519
272
0.107514
312
0.10751
280
0.107505
288
0.107501
331
0.107496
279
0.107492
299
0.107488
282
0.107483
279
0.107479
259
0.107474
271
0.10747
280
0.107465
275
0.107461
276
0.107456
271
0.107452
259
0.107448
297
0.107443
324
0.107439
283
0.107434
267
0.10743
287
0.107425
298
0.107421
269
0.107417
264
0.107412
273
0.107408
295
0.107403
283
0.107399
309
0.107394
281
0.10739
293
0.107385
276
0.107381
300
0.107377
284
0.107372
279
0.107368
292
0.107363
256
0.107359
291
0.107354
270
0.10735
275
0.107346
295
0.107341
266
0.107337
300
0.107332
299
0.107328
291
0.107323
250
0.107319
281
0.107315
290
0.10731
255
0.107306
290
0.107301
267
0.107297
314
0.107292
290
0.107288
307
0.107284
271
0.107279
263
0.107275
278
0.10727
277
0.107266
304
0.107261
258
0.107257
292
0.107253
320
0.107248
286
0.107244
303
0.107239
274
0.107235
264
0.10723
277
0.107226
308
0.107222
280
0.107217
294
0.107213
 
Si wafer, no doping, previously ion etched, 90 TOA
2003
5
10
15
39
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.63
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
107.5
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
30
4.00E-06
0
0
0
0
602
117
14063
0.143462
0.145022
798
0.145022
707
0.145017
745
0.145012
710
0.145006
724
0.145001
698
0.144996
733
0.144991
743
0.144985
730
0.14498
714
0.144975
709
0.14497
723
0.144964
689
0.144959
758
0.144954
744
0.144949
750
0.144943
722
0.144938
675
0.144933
699
0.144928
705
0.144922
710
0.144917
708
0.144912
678
0.144907
713
0.144901
733
0.144896
726
0.144891
725
0.144886
650
0.14488
740
0.144875
670
0.14487
736
0.144865
702
0.144859
683
0.144854
731
0.144849
670
0.144844
682
0.144838
666
0.144833
675
0.144828
654
0.144823
696
0.144817
686
0.144812
717
0.144807
687
0.144802
709
0.144796
685
0.144791
742
0.144786
712
0.144781
744
0.144775
719
0.14477
740
0.144765
752
0.14476
794
0.144754
746
0.144749
791
0.144744
845
0.144739
866
0.144734
851
0.144728
900
0.144723
896
0.144718
976
0.144713
968
0.144707
1036
0.144702
1023
0.144697
1074
0.144692
1059
0.144686
1191
0.144681
1193
0.144676
1252
0.144671
1246
0.144665
1357
0.14466
1399
0.144655
1441
0.14465
1477
0.144645
1559
0.144639
1644
0.144634
1659
0.144629
1775
0.144624
1826
0.144618
1878
0.144613
1929
0.144608
1891
0.144603
1876
0.144597
1953
0.144592
1991
0.144587
2098
0.144582
2082
0.144577
2078
0.144571
2065
0.144566
1945
0.144561
2224
0.144556
2044
0.14455
2160
0.144545
2139
0.14454
2103
0.144535
1996
0.14453
2061
0.144524
2019
0.144519
1906
0.144514
2031
0.144509
2001
0.144503
1967
0.144498
1882
0.144493
1909
0.144488
1804
0.144483
1759
0.144477
1764
0.144472
1662
0.144467
1684
0.144462
1589
0.144456
1562
0.144451
1593
0.144446
1535
0.144441
1447
0.144436
1408
0.14443
1381
0.144425
1427
0.14442
1392
0.144415
1296
0.14441
1248
0.144404
1310
0.144399
1224
0.144394
1186
0.144389
1266
0.144383
1205
0.144378
1271
0.144373
1280
0.144368
1234
0.144363
1269
0.144357
1267
0.144352
1312
0.144347
1334
0.144342
1379
0.144337
1411
0.144331
1434
0.144326
1556
0.144321
1657
0.144316
1747
0.144311
1915
0.144305
2093
0.1443
2329
0.144295
2609
0.14429
3046
0.144285
3439
0.144279
3874
0.144274
4605
0.144269
5209
0.144264
5908
0.144259
6731
0.144253
7305
0.144248
8149
0.144243
8830
0.144238
9206
0.144233
9622
0.144227
10014
0.144222
10412
0.144217
10520
0.144212
10967
0.144207
11188
0.144201
12182
0.144196
12561
0.144191
13091
0.144186
13645
0.144181
13890
0.144175
14063
0.14417
13361
0.144165
12927
0.14416
12311
0.144155
10894
0.144149
9538
0.144144
8244
0.144139
6866
0.144134
5577
0.144129
4492
0.144123
3570
0.144118
2747
0.144113
2095
0.144108
1573
0.144103
1188
0.144097
931
0.144092
732
0.144087
564
0.144082
468
0.144077
392
0.144071
337
0.144066
296
0.144061
283
0.144056
254
0.144051
229
0.144046
234
0.14404
215
0.144035
214
0.14403
207
0.144025
187
0.14402
180
0.144014
173
0.144009
188
0.144004
163
0.143999
183
0.143994
141
0.143988
181
0.143983
158
0.143978
169
0.143973
166
0.143968
157
0.143963
159
0.143957
149
0.143952
151
0.143947
185
0.143942
157
0.143937
172
0.143931
160
0.143926
168
0.143921
157
0.143916
200
0.143911
179
0.143906
175
0.1439
125
0.143895
167
0.14389
168
0.143885
156
0.14388
174
0.143875
155
0.143869
150
0.143864
155
0.143859
140
0.143854
162
0.143849
156
0.143843
150
0.143838
175
0.143833
163
0.143828
147
0.143823
181
0.143818
155
0.143812
149
0.143807
147
0.143802
142
0.143797
122
0.143792
165
0.143787
161
0.143781
145
0.143776
158
0.143771
158
0.143766
154
0.143761
158
0.143756
147
0.14375
168
0.143745
172
0.14374
171
0.143735
127
0.14373
160
0.143725
130
0.143719
148
0.143714
158
0.143709
133
0.143704
130
0.143699
135
0.143694
149
0.143688
137
0.143683
153
0.143678
160
0.143673
168
0.143668
135
0.143663
179
0.143658
134
0.143652
143
0.143647
125
0.143642
117
0.143637
159
0.143632
144
0.143627
152
0.143621
157
0.143616
122
0.143611
145
0.143606
134
0.143601
170
0.143596
150
0.14359
141
0.143585
134
0.14358
163
0.143575
155
0.14357
159
0.143565
141
0.14356
159
0.143554
144
0.143549
149
0.143544
140
0.143539
124
0.143534
139
0.143529
144
0.143524
129
0.143518
152
0.143513
134
0.143508
135
0.143503
142
0.143498
152
0.143493
139
0.143487
127
0.143482
143
0.143477
159
0.143472
152
0.143467
155
0.143462
 
Si wafer, no doping, previously ion etched, 90 TOA
2003
5
10
15
39
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
14.25
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
107.5
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
50
4.00E-06
0
0
0
0
602
103
5621
0.378763
0.380818
396
0.380818
370
0.380811
318
0.380804
343
0.380797
359
0.38079
380
0.380783
348
0.380776
359
0.380769
332
0.380762
370
0.380756
334
0.380749
381
0.380742
337
0.380735
382
0.380728
323
0.380721
357
0.380714
305
0.380707
368
0.3807
351
0.380693
355
0.380687
334
0.38068
351
0.380673
337
0.380666
370
0.380659
338
0.380652
368
0.380645
377
0.380638
339
0.380631
348
0.380625
339
0.380618
362
0.380611
339
0.380604
333
0.380597
343
0.38059
364
0.380583
357
0.380576
356
0.380569
338
0.380563
363
0.380556
308
0.380549
379
0.380542
369
0.380535
340
0.380528
322
0.380521
330
0.380514
335
0.380507
356
0.380501
359
0.380494
344
0.380487
336
0.38048
353
0.380473
350
0.380466
361
0.380459
397
0.380452
387
0.380445
374
0.380439
385
0.380432
406
0.380425
412
0.380418
415
0.380411
418
0.380404
412
0.380397
451
0.38039
436
0.380384
530
0.380377
456
0.38037
535
0.380363
521
0.380356
565
0.380349
499
0.380342
592
0.380335
590
0.380328
599
0.380322
636
0.380315
676
0.380308
671
0.380301
699
0.380294
689
0.380287
728
0.38028
711
0.380273
784
0.380267
744
0.38026
791
0.380253
790
0.380246
809
0.380239
815
0.380232
847
0.380225
868
0.380219
805
0.380212
770
0.380205
828
0.380198
797
0.380191
826
0.380184
849
0.380177
850
0.38017
840
0.380164
761
0.380157
813
0.38015
822
0.380143
814
0.380136
730
0.380129
775
0.380122
791
0.380115
734
0.380109
720
0.380102
754
0.380095
717
0.380088
701
0.380081
724
0.380074
700
0.380067
689
0.380061
706
0.380054
642
0.380047
668
0.38004
653
0.380033
621
0.380026
551
0.380019
581
0.380013
605
0.380006
567
0.379999
551
0.379992
596
0.379985
597
0.379978
584
0.379971
589
0.379965
564
0.379958
534
0.379951
525
0.379944
588
0.379937
512
0.37993
542
0.379923
569
0.379917
574
0.37991
593
0.379903
553
0.379896
609
0.379889
619
0.379882
673
0.379875
723
0.379869
783
0.379862
809
0.379855
896
0.379848
1092
0.379841
1212
0.379834
1407
0.379827
1668
0.379821
1955
0.379814
2179
0.379807
2547
0.3798
2960
0.379793
3148
0.379786
3356
0.37978
3626
0.379773
3668
0.379766
3698
0.379759
3807
0.379752
3865
0.379745
3915
0.379738
4248
0.379732
4526
0.379725
4772
0.379718
5034
0.379711
5419
0.379704
5608
0.379697
5621
0.379691
5500
0.379684
5135
0.379677
4764
0.37967
4308
0.379663
3764
0.379656
3146
0.37965
2456
0.379643
2020
0.379636
1623
0.379629
1212
0.379622
883
0.379615
688
0.379608
521
0.379602
373
0.379595
334
0.379588
273
0.379581
235
0.379574
202
0.379567
195
0.379561
174
0.379554
192
0.379547
168
0.37954
176
0.379533
169
0.379526
151
0.37952
164
0.379513
162
0.379506
169
0.379499
167
0.379492
192
0.379485
159
0.379479
179
0.379472
168
0.379465
174
0.379458
158
0.379451
167
0.379444
163
0.379438
180
0.379431
187
0.379424
147
0.379417
167
0.37941
151
0.379404
145
0.379397
143
0.37939
149
0.379383
148
0.379376
171
0.379369
144
0.379363
139
0.379356
180
0.379349
156
0.379342
161
0.379335
171
0.379328
155
0.379322
133
0.379315
140
0.379308
148
0.379301
146
0.379294
117
0.379288
137
0.379281
134
0.379274
132
0.379267
132
0.37926
133
0.379253
144
0.379247
136
0.37924
152
0.379233
129
0.379226
128
0.379219
148
0.379213
144
0.379206
140
0.379199
138
0.379192
147
0.379185
139
0.379178
134
0.379172
117
0.379165
143
0.379158
132
0.379151
138
0.379144
126
0.379138
134
0.379131
121
0.379124
117
0.379117
141
0.37911
152
0.379103
127
0.379097
134
0.37909
135
0.379083
110
0.379076
158
0.379069
157
0.379063
147
0.379056
149
0.379049
145
0.379042
135
0.379035
131
0.379029
131
0.379022
127
0.379015
132
0.379008
150
0.379001
127
0.378995
133
0.378988
103
0.378981
140
0.378974
112
0.378967
132
0.378961
126
0.378954
125
0.378947
147
0.37894
119
0.378933
137
0.378927
118
0.37892
119
0.378913
139
0.378906
124
0.378899
136
0.378893
128
0.378886
148
0.378879
147
0.378872
146
0.378865
137
0.378859
133
0.378852
146
0.378845
138
0.378838
123
0.378831
107
0.378825
136
0.378818
145
0.378811
145
0.378804
129
0.378797
127
0.378791
125
0.378784
132
0.378777
132
0.37877
142
0.378763
end of experiment
